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J-GLOBAL ID:200903093040774991

光強度の調節方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 重野 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991166824
Publication number (International publication number):1993011455
Application date: Jul. 08, 1991
Publication date: Jan. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】 レーザ光等の強度を安定かつ高精度に、速い応答速度で容易に調節することができる光強度の調節方法を提供する。【構成】 光路L上にガルバノメータ式シャッタ2を配置し、ガルバノメータ式シャッタ2を短周期にて開閉させると共に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光強度を調節する。【効果】 シャッタ2の開閉周期において、単位時間当りの開放時間を長短調節することにより、単位時間当りのシャッタ透過光量を増減させ、光強度を調節する。ガルバノメータ式シャッタは高速応答性能に優れることから、レーザ発振器から発振されるレーザ光等の光強度を、安定かつ精度良く、しかも迅速に調節できる。
Claim (excerpt):
光路上にガルバノメータ式シャッタを配置し、該ガルバノメータ式シャッタを短周期にて開閉させると共に、該シャッタの開放時間を長短調節することにより光強度を調節することを特徴とする光強度の調節方法。
IPC (4):
G03F 7/20 505 ,  B29C 35/08 ,  B29C 67/00 ,  B29K105:24

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