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J-GLOBAL ID:200903093047837026

カラーレジスト材料

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山口 邦夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992227256
Publication number (International publication number):1994075375
Application date: Aug. 26, 1992
Publication date: Mar. 18, 1994
Summary:
【要約】【目的】従来より低いポストベーク温度でカラーフィルタが形成でき、従ってカラーレジスト材料に使用できる色素の選択範囲を拡げ、且つ固体撮像素子のような微細パターンを要するカラーフィルタを製造し得るカラーレジスト材料を提供する。【構成】以下に示す要素(1)〜(5):(1)カルボキシル基を有するバインダーポリマー、(2)重合可能な2重結合を2つ以上有する多官能モノマー、(3)光重合開始剤、(4)色素、(5)熱硬化剤からなる。
Claim (excerpt):
以下に示す要素(1)〜(5):(1)カルボキシル基または無水カルボン酸の構造を有するバインダーポリマー、(2)重合可能な2重結合を2つ以上有する多官能モノマー、(3)光重合開始剤、(4)色素、(5)熱硬化剤、からなることを特徴とするカラーレジスト材料。
IPC (5):
G03F 7/038 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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