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J-GLOBAL ID：200903093051211204

ガーネツト導波路の加工方法

Inventor： 加藤 雄二郎 ,  杉本 直登 ,  館 彰之 ,  渋川 篤
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 中本 宏 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992072091
Publication number (International publication number)：1993134124
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 矩形断面を有する低損失のガーネット導波路を形成する方法を提供する。【構成】 一般式R3 Fe5 O12で示される磁性ガーネット膜、又は該ガーネットの酸素以外の構成元素の一部を等価な価数を有する一種以上の元素で置き換えた置換型ガーネット膜で形成される導波路の加工方法において、所望の高さを有するガーネットのリッジを形成した後、リッジ上に残存する有機又は無機のマスク材をそのまま用いてガーネットを化学的に溶解しうるリン酸、臭化水素酸、リン酸トリ-n-ブチル、リン酸トリクレシル、リン酸トリフェニルの中から選ばれた一種以上を含む溶液中で導波路の上部表面を保護して処理するガーネット導波路の加工方法。【効果】 滑らかな側壁を有する矩形断面の導波路が形成できる。

Claim (excerpt)：

一般式R3 Fe5 O12で示される磁性ガーネット膜、又は該ガーネットの酸素以外の構成元素の一部を等価な価数を有する一種以上の元素で置き換えた置換型ガーネット膜で形成される導波路の加工方法において、所望の高さを有するガーネットのリッジを形成した後、リッジ上に残存する有機又は無機のマスク材をそのまま用いてガーネットを化学的に溶解しうるリン酸、臭化水素酸、リン酸トリ-n-ブチル、リン酸トリクレシル、リン酸トリフェニルの中から選ばれた一種以上を含む溶液中で導波路の上部表面を保護して処理することを特徴とするガーネット導波路の加工方法。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02F 1/095