基板収容器内の基板検出装置及びその装置を備えた基板搬入搬出装置並びにその基板搬入搬出装置を備えた基板処理装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉谷勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997109352
Publication number (International publication number)：1998303283
Application date： Apr. 25, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】基板を汚染せず、基板収容器の周囲に障害物があっても基板収容器内の基板の収容状態を検出する。【解決手段】基板収容器1内の基板Wの収容状態をCCDカメラ3で撮影して画像メモリ4に記憶する。画像解析部5はCCDカメラ3で撮影され画像メモリ4に記憶された画像情報を解析して基板収容器1内の基板Wの収容状態を検出する。

Claim (excerpt)：

複数枚の基板を収容可能な基板収容器内の基板の収容状態を検出する基板収容器内の基板検出装置であって、前記基板収容器内の基板の収容状態を撮影する撮影手段と、前記撮影手段によって撮影された画像情報を解析して前記基板収容器内の基板の収容状態を検出する画像解析手段と、を備えたことを特徴とする基板収容器内の基板検出装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-142157
半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-068465 Applicant：イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・CVD装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-218807 Applicant：国際電気株式会社

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