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J-GLOBAL ID：200903093079723650

圧電アクチュエータ及び位置決め装置

Inventor： 坂谷 郁紀 ,  田中 伸明
Applicant, Patent owner： 日本精工株式会社
Agent (3)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003151314
Publication number (International publication number)：2004357393
Application date： May. 28, 2003
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：

【課題】真空中においてもデューティ比を抑制することなく圧電アクチュエータの寿命延長を図る。【解決手段】圧電素子12に電圧を印加することにより該圧電素子12を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータ7において、前記圧電素子12と該圧電素子12を内装する筐体11との間に樹脂21又はゲルを封入する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

圧電素子に電圧を印加することにより該圧電素子を振動させ、該振動によって可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、 前記圧電素子と該圧電素子を内装する筐体との間に樹脂又はゲルを封入したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (3)：

H02N2/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (3)：

H02N2/00 C ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A

F-Term (25)：

5F031CA01 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA10 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F046CC13 ,  5F046CC17 ,  5H680AA11 ,  5H680AA12 ,  5H680AA20 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BC10 ,  5H680DD02 ,  5H680DD23 ,  5H680DD55 ,  5H680DD65 ,  5H680DD74 ,  5H680DD82 ,  5H680EE10