合焦装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999167169
Publication number (International publication number)：2000352661
Application date： Jun. 14, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明は、センサ系を増やすことなく、調整もすることなく、広い合焦検出範囲を持って合焦を行うこと。【解決手段】試料1と観察光学系5との間隔が合焦検出範囲W内であれば、オートフォーカスコントローラ17によるオートフォーカス動作を行い、合焦検出範囲W外であれば、焦準操作部21によるマニュアル操作に切替えて合焦検出範囲W内に入ると、マニュアル操作から制御を取り戻してオートフォーカスを行い、かつ高さ自動測定において、Z軸方向を含む各測定点k1〜k6の各座標をティーチングし、合焦検出範囲W外の場合、推定動作機能20によってティーチングされた座標に基づいて合焦方向を推定し、この合焦方向に従ってステージ2を動作させて試料1を合焦検出範囲W内に入れて、試料1に対するオートフォーカス動作を行う。

Claim (excerpt)：

試料からの光を光学系を通して受光手段で受光し、この受光量に応じた電気信号に基づいて前記光学系を前記試料に合焦させる合焦装置において、マニュアル操作に応動して前記試料と前記光学系との間隔を相対的に移動制御する主制御手段と、前記試料からの前記受光量に応じた前記電気信号に基づいて前記試料と前記光学系との間隔が合焦検出範囲内であるかを検出し、この合焦検出範囲内であれば、前記光学系を前記試料に対して合焦動作させ、前記合焦検出範囲外であれば、前記主制御手段に対してマニュアル動作への切替え指示を発し、合焦検出範囲内にあるときに、前記主制御手段から制御を取り戻して前記合焦動作を行うオートフォーカス制御手段と、を具備したことを特徴とする合焦装置。

IPC (2)：

G02B 7/28 , G02B 21/24

FI (3)：

G02B 7/11 N , G02B 21/24 , G02B 7/11 J

F-Term (10)：

2H051AA11 , 2H051BA53 , 2H051DA15 , 2H051DB01 , 2H051DD20 , 2H051FA30 , 2H051FA48 , 2H051GB12 , 2H052AD09 , 2H052AD19

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