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J-GLOBAL ID:200903093102255376

光学測定機

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991225982
Publication number (International publication number):1993060538
Application date: Sep. 05, 1991
Publication date: Mar. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】 被測定物の底面像と側面像とを簡易な構成によって同一視野内に隣接して観察できるようにする。【構成】 被測定物Wを載置する試料台11の下方に設けて底面像を側方に反射する第1の反射手段12と、この底面像を上方に反射する第2の反射手段13と、試料台の側方に設けて側面像を上記底面像に隣接して上方に反射する第3の反射手段14とを備えてなる。
Claim (excerpt):
被測定物を載置し下方から被測定物の底面が観視可能な試料台と、該試料台の下方に配設され被測定物の底面像を側方に反射する第1の反射手段と、該第1の反射手段によって反射された被測定物の底面像を上方に反射する第2の反射手段と、前記試料台の側方に配設され被測定物の側面像を上記第2の反射手段で反射された底面像に隣接して上方に反射する第3の反射手段とを備えたことを特徴とする光学測定機。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭53-048762
  • 特開昭53-048762
  • 特開昭53-048762
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