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J-GLOBAL ID:200903093128900601
感光性ペースト
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996151308
Publication number (International publication number):1997310030
Application date: Jun. 12, 1996
Publication date: Dec. 02, 1997
Summary:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性ペースト。
Claim (excerpt):
無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子の平均屈折率N1と有機成分の平均屈折率N2が、次式を満たすことを特徴とする感光性ペースト。-0.1≦N1-N2≦0.2
IPC (9):
C09D 4/00 PDS
, C03C 4/04
, C03C 12/00
, C09D 7/12 PSK
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027
, G09F 9/313
, H01J 9/02
, H05K 1/09
FI (9):
C09D 4/00 PDS
, C03C 4/04
, C03C 12/00
, C09D 7/12 PSK
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027
, G09F 9/313 Z
, H01J 9/02
, H05K 1/09 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭61-158861
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感光性絶縁ペースト
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-188284
Applicant:東レ株式会社
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特開平2-223132
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