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J-GLOBAL ID：200903093159453948

ウェハプロービング装置及びウェハプロービング方法

Inventor： 山田 孝
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992178095
Publication number (International publication number)：1994021172
Application date： Jul. 06, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】 被テストウェハ1を載せるウェハステージ2aと、被テストウェハ1の上面に設けられた複数のセンサ用パッド17a、17bに接触するプローブ針11a、11bと、ウェハステージ2aを2点以上で支持しこれらの点の高さを微動させる微動機構16a〜16cと、プローブ針11a、11bの高さを測定するプローブ針高さ測定手段と、プローブ針11a、11bの針先の作る平面とウェハステージ上面との間のずれ角を算出するずれ角算出手段と、ずれ角に従って微動機構16a〜16cを駆動してウェハステージ2aを傾けることによりずれ角を補正する微動機構駆動手段とを備えたことを特徴としている。【効果】 ずれ角の大きさを測定し補正することができるという効果がある。

Claim (excerpt)：

被テストウェハを載せるウェハステージと、前記被テストウェハの上面に設けられた複数のセンサ用パッドに接触する複数のプローブ針と、前記ウェハステージを2点以上で支持し、これらの点の高さを微動させる微動機構と、前記プローブ針及び前記センサ用パッドの間の距離を徐々に小さくしていったときの各前記プローブ針と前記センサ用パッドとの接触を検出することにより、各前記プローブ針の前記被テストウェハ上面からの高さを測定するプローブ針高さ測定手段と、前記プローブ針の高さに基づいて前記プローブ針の針先の作る平面と前記ウェハステージ上面との間のずれ角を算出するずれ角算出手段と、前記ずれ角に従って前記微動機構を駆動して前記ウェハステージを傾けることにより、前記ずれ角を補正する微動機構駆動手段と、を備えたウェハプロービング装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073