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J-GLOBAL ID：200903093211327352

アーク蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング装置

Inventor： 宮 行男 ,  瀧川 志朗 ,  能勢 功一 ,  小泉 康浩 ,  堀 崇展
Applicant, Patent owner： 新明和工業株式会社 ,  シチズン時計株式会社
Agent (1)： 角田 嘉宏 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001255648
Publication number (International publication number)：2002173763
Application date： Aug. 27, 2001
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 カソード材料が低融点の材料からなる場合における薄膜の表面の荒れを防止することができるアーク蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング装置提供する。【解決手段】 アノード(5)と、カソードたる蒸発源電極2と、アノード(5)と蒸発源電極2との間に矩形波交流のアーク放電電流を供給する電流制御装置3とを備えたものである

Claim (excerpt)：

アノードと、カソードたる蒸発源電極と、上記アノードと上記蒸発源電極との間に矩形波交流のアーク放電電流を供給する電流制御装置とを備えたアーク蒸発源装置。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  H05H 1/36

FI (2)：

C23C 14/24 F ,  H05H 1/36

F-Term (3)：

4K029DD06 ,  4K029EA00 ,  4K029EA09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭64-042574