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J-GLOBAL ID：200903093218148828

液体供給方法および装置

Inventor： 村角 真樹 ,  村松 智明 ,  松山 良二
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996053506
Publication number (International publication number)：1997246162
Application date： Mar. 11, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 液体を供給される処理対象物上にマイクロバブルを発生させることを低減できる液体供給方法および装置に関し、より均一な液体処理を可能とする液体供給方法を提供する。【解決手段】 気体を溶解した液体に圧力の変化を与えて気泡を発生させる発泡工程と、前記気泡を除去する脱気工程と、気泡を除去された液体を整流して断面が連続した細長い形状の液体流として供給する給液工程とを含む液体供給方法。

Claim (excerpt)：

気体を溶解した液体に圧力の変化を与えて気泡を発生させる発泡工程と、前記気泡を除去する脱気工程と、気泡を除去された液体を整流して断面が連続した細長い形状の液体流として供給する給液工程とを含む液体供給方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501

FI (2)：

H01L 21/30 564 C ,  G03F 7/30 501