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J-GLOBAL ID：200903093233220047

金属ナノ粒子焼結体の製造方法

Inventor：
阿部 真太郎

About 阿部 真太郎

, 
寺田 信人

About 寺田 信人

, 
松葉 頼重

About 松葉 頼重


Applicant, Patent owner：
ハリマ化成株式会社

About ハリマ化成株式会社


Agent (3)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  緒方 雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007257594
Publication number (International publication number)：2009088340
Application date： Oct. 01, 2007
Publication date： Apr. 23, 2009
Summary：
【課題】金属ナノ粒子を低温焼結させ、金属ナノ粒子焼結体を製造する際、形成される焼結体層全体の導電性のバラツキを抑え、同時に、高い再現性で、得られる焼結体層全体の導電性を1×10-5Ω・cm以下の範囲にすることが可能な金属ナノ粒子焼結体の製造方法の提供。【解決手段】アルキルアミンで表面を被覆した平均粒子径1〜100nmの金属ナノ粒子を、沸点100°C以上の有機溶媒中に分散した分散液を、塗布した後、1.5気圧〜10気圧の加圧雰囲気下、100°C〜200°Cの温度で加熱処理することで、金属ナノ粒子の表面を被覆するアルキルアミンを効率的に離脱させ、金属ナノ粒子焼結体を形成させる。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
基板上に、微細な配線パターン形状を有する、金属ナノ粒子焼結体層を製造する方法であって、 平均粒子径を1〜100nmの範囲に選択する、金属ナノ粒子を含有する分散液を用いて、目的とする微細な配線パターン形状を有する塗布層を基板上に描画する工程と、 前記塗布層中に含まれる金属ナノ粒子の焼成処理を行って、金属ナノ粒子焼結体層を形成する工程を有し、 前記分散液中に含有される、金属ナノ粒子は、該金属ナノ粒子表面の金属原子に対して、アミノ基の窒素原子上の孤立電子対を利用して配位的な結合が可能なアルキルアミンにより、表面を被覆されており、 前記アルキルアミンにより表面を被覆されている金属ナノ粒子は、沸点100°C以上の有機溶媒中に分散されており、 該分散液中に、前記沸点100°C以上の有機溶媒は、金属ナノ粒子100質量部当たり、10質量部〜100質量部の範囲で含有されており; 前記金属ナノ粒子の焼成処理は、 加熱温度を、100°C以上、200°C以下の範囲に選択して、 加熱時の周辺雰囲気の圧力を、1.5気圧〜10気圧の範囲に選択される加圧条件下で実施する ことを特徴とする金属ナノ粒子相互の焼結体の製造方法。
IPC (4)：
H05K 3/12 ,  B22F 1/00 ,  H01B 13/00 ,  H05K 3/10
FI (4)：
H05K3/12 610B ,  B22F1/00 K ,  H01B13/00 503D ,  H05K3/10 D
F-Term (25)：
4E351BB01 ,  4E351BB31 ,  4E351CC11 ,  4E351CC21 ,  4E351DD05 ,  4E351DD06 ,  4E351DD20 ,  4E351DD52 ,  4E351DD56 ,  4E351EE25 ,  4E351GG16 ,  4K018BA01 ,  4K018BB05 ,  4K018BD04 ,  5E343BB23 ,  5E343BB25 ,  5E343BB47 ,  5E343BB48 ,  5E343BB49 ,  5E343BB71 ,  5E343DD12 ,  5E343ER35 ,  5E343ER38 ,  5E343GG08 ,  5G323CA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (6)
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