光スイッチ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：草野卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999057427
Publication number (International publication number)：2000258702
Application date： Mar. 04, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】小型化、低電圧駆動を可能にする。【解決手段】導電性が与えられたシリコン基板31上に正方形状可動電極板32が配され、可動電極板32の各辺の中央に長方形の切除部41〜44が形成され、切除部41〜44に折り返しビーム状支持体33〜36が配され、支持体33〜36の内端が可動電極板32に連結され、外端が固定部45〜48を介して基板31上に連結される。可動電極板32上にミラー49が立てられる。

Claim (excerpt)：

基板と、その基板表面と対向して平行に配され、基板表面に対し垂直に変位できる可動電極板と、その可動電極板上に直立されたミラーと、上記可動電極板に一端が、他端が上記基板にそれぞれ連結され、可動電極板を基板上に支持する弾性を有する支持体とを具備し、可動電極板と基板の固定電極との間に電圧印加、その除去により可動電極板及びミラーを変位させ、ミラーに向かう光束を通過又は反射させる光スイッチにおいて、上記支持体が占める領域と上記可動電極板が占める領域とが、全体として方形領域を形成していることを特徴とする光スイッチ。

F-Term (4)：

2H041AA13 , 2H041AB13 , 2H041AC06 , 2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

偏向可能デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-106876 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
マイクロミラー装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-321451 Applicant：富士電機株式会社
光偏向装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-275047 Applicant：オムロン株式会社

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