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J-GLOBAL ID:200903093282721892

焦点検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1990418093
Publication number (International publication number):1993101417
Application date: Dec. 28, 1990
Publication date: Apr. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】装置の大型化、コストアップ、応答速度の低下等を招くことなく、不所望なゼロクロスの無いFE信号を得る。【構成】二つの光束に分離された被照射物体からの戻り光を受光してFE信号を検出する、それぞれ平行な分割線で分割された複数の受光領域52a,52b,52c;53a,53b,53cを有する二つの光検出器52,53の分割線と直交する方向の寸法を異ならせて、デフォーカス領域の一方においてFE信号の不所望なゼロクロスを無くすようにする。
Claim (excerpt):
光源と、この光源からの光を被照射物体に投射する収束光学系と、前記被照射物体からの反射光を二つの光束に分割する分割光学系と、この分割光学系で分割された二つの光束を受光するように焦点位置の前後に配置され、それぞれ平行な分割線で分割された複数の受光領域を有する二つの光検出器とを具える焦点検出装置において、前記二つの光検出器の前記分割線と直交する方向の寸法を異ならせたことを特徴とする焦点検出装置。

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