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J-GLOBAL ID：200903093291279027

ポジ型感光性組成物

Inventor： 近藤 俊一 ,  青谷 能昌 ,  梅原 明
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992303512
Publication number (International publication number)：1994148889
Application date： Nov. 13, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高い感光性を有しかつ広範囲の波長光での使用が可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物として、(a) 下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物と、(b) 酸成分及び水酸基を有する線状高分子と、(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物とを配合し、かつ(a) 成分と(b) 成分とを熱により架橋させた。【化1】式中、 R1 、R2及びR3は、水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一又は異なっていてもよく、また、それらの内の2つが結合して、飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

Claim (excerpt)：

(a)下記一般式(I)で示されるエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物、(b) 酸成分及び水酸基を有する線状高分子、及び(c) 活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、を含有し、かつ(a)成分と(b)成分とを熱により架橋させたことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 、R2 及びR3 は水素、アルキル基又はアリール基を表し、同一もしくは異なっていてもよい。また、それらの内の2つが結合して飽和又はオレフィン性不飽和の環を形成してもよい。

IPC (4)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭55-012995
  
• 特開昭63-071840
  
• 特開平2-019847