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J-GLOBAL ID：200903093298232271
金属材料の研磨用組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991219774
Publication number (International publication number)：1993059351
Application date： Aug. 30, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：
【要約】【構成】水とアルミナ研磨材及び水溶性金属塩を研磨促進剤とする金属材料の研磨用組成物に於いて、該組成物中にフッ素系界面活性剤を含有させたことを特徴とする金属材料の研磨用組成物。【効果】磁気ディスク基板材料、半導体基板材料等の金属材料の研磨用組成物として、ピット、ノジュール等の表面欠陥がなく表面平滑性に特に優れる研磨を可能とした。
Claim (excerpt)：
水とアルミナ研磨材及び水溶性金属塩を研磨促進剤とする金属材料の研磨用組成物に於いて、該組成物中にフッ素系界面活性剤を含有させたことを特徴とする金属材料の研磨用組成物。
IPC (2)：
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