Pat

J-GLOBAL ID：200903093302698248

ポリイミド樹脂のエッチング液およびエッチング方法

Inventor： 石川 哲也 ,  大竹 重成 ,  神田 勇一
Applicant, Patent owner： 三菱伸銅株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991256803
Publication number (International publication number)：1993202206
Application date： Oct. 03, 1991
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 BPDA(ビフェニルテトラカルボン酸二無水物)とジアミンとを縮合重合したポリイミド樹脂を十分な速度で正確にエッチングする。【構成】 水酸化ナトリウム(40wt%)水溶液を20〜70%vol、エチレンジアミンを2〜20%vol、ヒドラジン1水和物を10〜30%vol、ジメチルアミン溶液(20wt%)を2〜10%vol、およびN-Nジメチルホルムアミドを2〜10%volそれぞれ含有するエッチング液を、60〜90°Cで作用させる。

Claim (excerpt)：

水酸化ナトリウム(40wt%)水溶液を20〜70%vol、エチレンジアミンを2〜20%vol、ヒドラジン1水和物を10〜30%vol、ジメチルアミン溶液(20wt%)を2〜10%vol、およびN-Nジメチルホルムアミドを2〜10%vol、それぞれ含有することを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング液。

IPC (2)：

C08J 7/00 CFG ,  H05K 3/00