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J-GLOBAL ID：200903093313045521
風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法及び測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
齊藤 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994210389
Publication number (International publication number)：1996054265
Application date： Aug. 10, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：
【要約】【目的】 クリーンルーム内の風向・風速・温度と空気中の微粒子測定において、同位置、同時測定を正確に行うと共に、その測定結果に基づいてクリーンルーム内の状況を正確に把握することにある。【構成】 風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法は、次のステップから成る。先ず、風向風速温度演算部204の測定プローブ200の中心Cから所定の距離r以内の位置に、パーティクルカウンタ104の空気吸引口100を設置し、次に、測定プローブ200を用いた風向・風速・温度測定と、空気吸引口100を用いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行う。この場合、上記測定プローブ200の中心Cから所定の距離rは、略20cmが好ましい。
Claim (excerpt)：
(1)風向風速温度演算部204の測定プローブ200の中心Cから所定の距離r以内の位置に、パーティクルカウンタ104の空気吸引口100を設置するステップと、(2)上記測定プローブ200を用いた風向・風速・温度測定と、上記空気吸引口100を用いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行うステップとから成ることを特徴とする風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法。
IPC (4)：
G01D 21/02
, G01N 15/14
, G01P 13/02
, G06M 11/00
