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J-GLOBAL ID：200903093339741500
電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源、該電子源を用いた画像形成装置及び該電子放出素子の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996166696
Publication number (International publication number)：1997330647
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 高品位画像形成装置を実現し得る電子ビーム源としての電子放出素子を提供する。【解決手段】 基板1上の素子電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子において、電子放出部5の一部が、化学的気相成長法により形成された金属窒化物膜10により被覆されていることを特徴とする。【効果】 安定な電子放出特性と高い電子放出効率を有する素子となる。
Claim (excerpt)：
対向する一対の電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記電子放出部の少なくとも一部が、化学的気相成長法により形成された金属窒化物を主成分とする膜で被覆されていることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 B
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
