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J-GLOBAL ID：200903093366303107
堆積膜形成方法、堆積膜形成装置、電子写真感光体の製造方法及び製造装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001015844
Publication number (International publication number)：2002220672
Application date： Jan. 24, 2001
Publication date： Aug. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】 電子写真装置において感光体に対する摺擦力が大きくなるような過酷な電子写真プロセスの条件でも感光体ドラム表面の削れ量が少なく、かつ、むら削れの発生がない電子写真感光体の製造を可能にする。【解決手段】 反応容器111内の基体112と、高周波電力が供給された反応容器111との間にプラズマを発生させ、基体112上に、下部阻止層、光導電層、及び表面層としての非単結晶炭化水素膜をこの順番で積層して電子写真感光体を製造する。表面層の形成時に、基体112の下部、すなわち基体112における排気口119に近い部分を冷却部材121により冷却する。これにより、高い硬度の表面層を形成するためにプラズマのエネルギーを増加させても、基体112において排気口119に近い部分の温度が局所的に上昇することがなくなる。
Claim (excerpt)：
減圧可能な反応容器内で、高周波電力を印加するカソード電極と対向する基体との間にプラズマを発生させると共に、前記反応容器内に原料ガスを導入し、前記基体上に堆積膜を形成する堆積膜形成方法において、前記堆積膜の形成時に、前記基体を実質的に均一に加熱すると共に前記基体の一部を冷却しながら前記堆積膜を形成することを特徴とする堆積膜形成方法。
IPC (4)：
C23C 16/509
, C23C 16/26
, G03G 5/08 360
, G03G 5/082
C23C 16/509
, C23C 16/26
, G03G 5/08 360
, G03G 5/082
2H068CA03
, 2H068DA12
, 2H068DA23
, 2H068EA25
, 2H068EA30
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA17
, 4K030BA27
, 4K030BA29
, 4K030BB12
, 4K030FA03
, 4K030HA13
, 4K030KA18
, 4K030KA23
, 4K030KA26
, 4K030KA30
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 4K030LA17
