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J-GLOBAL ID：200903093394947230
欠陥検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 文雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991060754
Publication number (International publication number)：1993126759
Application date： Feb. 08, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 走査系の光学的特性や検査対象の表面の地合などによって画像濃度信号の出力レベルが大きく変動する低周波成分を含む場合に、欠陥を高精度に検出することができる欠陥検査装置を提供する。【構成】 検査対象を走査して得た画像信号を用いて検査対象の欠陥を検出する欠陥検査装置において、走査により得たアナログ画像信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、このデジタル化された信号を微分フィルタにより空間フィルタリング処理する空間フィルタリング手段と、この微分処理した信号を所定のしきい値と比較して欠陥を検出する欠陥検出手段とを備える。ここにA/D変換処理した信号を所定の濃度変換テーブルを用いて濃度変換する濃度変換手段を備えたり、前記空間フィルタリング処理に用いる微分フィルタを変更可能とするのが望ましい。
Claim (excerpt)：
検査対象を走査して得た画像信号を用いて検査対象の欠陥を検出する欠陥検査装置において、走査により得たアナログ画像信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、このデジタル化された信号を微分フィルタにより空間フィルタリング処理する空間フィルタリング手段と、この微分処理した信号を所定のしきい値と比較して欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2)：
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