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J-GLOBAL ID：200903093454901731

光学部材

Inventor： 中村 浩 ,  網干 順治
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997270062
Publication number (International publication number)：1999109103
Application date： Oct. 02, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 使用波長120nm≦λ0≦200nmで、入射光の偏光方向に依存せず、反射防止効果を奏する光学部材を提供する。【解決手段】 凹部が周期的に設けられた120nm〜200nmの波長領域用の光学薄膜材料からなる反射防止層を、或いは120nm〜200nm波長領域用の光学薄膜材料により凸部が周期的に形成されてなる反射防止層を基板上に有する光学部材。

Claim (excerpt)：

凹部が周期的に設けられた120nm〜200nmの波長領域用の光学薄膜材料からなる反射防止層を、或いは120nm〜200nm波長領域用の光学薄膜材料により凸部が周期的に形成されてなる反射防止層を基板上に有する光学部材。

IPC (4)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G02B 3/00

FI (4)：

G02B 1/10 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 3/00 Z