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J-GLOBAL ID：200903093462811229

物性値の測定方法および走査形プローブ顕微鏡

Inventor： 福間 剛士 ,  小林 圭 ,  山田 啓文 ,  松重 和美
Applicant, Patent owner： 関西ティー・エル・オー株式会社
Agent (3)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003085746
Publication number (International publication number)：2004294218
Application date： Mar. 26, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】試料の表面電位分布を、高感度で検出する。【解決手段】非接触原子間力顕微鏡NC-AFMにおいて、カンチレバー3の先端部に固定された探針14を、試料4に非接触状態で、圧電アクチュエータ2によって、自励発振ループ27で共振周波数ωで自励振動する。この探針14の振動と90度ずれた位相を有する散逸力信号である励振信号を、散逸力変調装置24において、共振周波数ωよりも充分に低い変調周波数ωmを有する発振器51からの変調信号で振幅変調して交流信号を作成し、さらに直流バイアス回路によって、共振周波数ωの振動振幅Aの変化量ΔAに含まれる変調周波数ωm成分ΔAmを打ち消す直流バイアス信号Vbiasを作成し、加算回路53で加算して、探針-試料間に与える。この直流バイアス信号Vbiasに対応する接触電位差VCPDを検出する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

探針を試料に対して非接触で、共振周波数ωで自励振動させ、 この探針-試料間に、 直流バイアス信号Vbiasと、 その共振周波数ωと同一の周波数を有しかつ探針の振動と90度ずれた位相を有する散逸力信号を、共振周波数ωよりも充分に低い変調周波数ωmを有する変調信号で振幅変調した交流信号とを、 印加し、 探針の振動振幅Aの変化量ΔAに含まれる変調周波数ωm成分ΔAmを打ち消すように、直流バイアス信号Vbiasを、フィードバック制御し、 直流バイアス信号Vbiasに対応する探針-試料間の接触電位差VCPDを検出することを特徴とする物性値の測定方法。

IPC (2)：

G01N13/16 ,  G01B21/30

FI (2)：

G01N13/16 A ,  G01B21/30

F-Term (13)：

2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG18 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM23 ,  2F069MM31 ,  2F069NN02 ,  2F069NN15 ,  2F069NN16