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J-GLOBAL ID：200903093470526762

硫酸の回収方法

Inventor： 爾見 聡 ,  佐藤 仁
Applicant, Patent owner： クロリンエンジニアズ株式会社
Agent (1)： 米澤 明 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991303422
Publication number (International publication number)：1993139707
Application date： Nov. 19, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体装置の製造工程で使われる廃硫酸を再生利用する。【構成】 少なくとも1枚以上の陰イオン交換膜および少なくとも1枚以上の陽イオン交換膜で三室以上に区画された多室型電解槽の陰イオン交換膜と槽壁で構成される陰極室、または陰イオン交換膜によって区画した2室型電解槽の陰極室に廃硫酸を供給して電解し、該多室型電解槽の陰イオン交換膜と陽イオン交換膜とで形成される中間室あるいは該2室型電解槽の陽極室から得られる硫酸を、多室型電解槽の陽イオン交換膜と槽壁とで形成される陽極室、もしくは陽イオン交換膜によって区画した2室型電解槽の陽極室において電解し、硫酸の濃縮とともにペルオキソ1硫酸、ペルオキソ2硫酸、過酸化水素等の酸化性物質を生成する。【効果】 廃硫酸を再生利用するとともに、硫酸中に過酸化水素などの酸化性物質を添加することなく酸化能力の大きな硫酸を得ることができる。

Claim (excerpt)：

廃硫酸を処理して硫酸を回収する方法において、少なくとも1枚以上の陰イオン交換膜および少なくとも1枚以上の陽イオン交換膜で三室以上の多室に区画された多室型電解槽の陰イオン交換膜と槽壁で構成される陰極室、または陰イオン交換膜によって区画した2室型電解槽の陰極室に廃硫酸を供給して電解し、該多室型電解槽の陰イオン交換膜と陽イオン交換膜とで形成される中間室あるいは該2室型電解槽の陽極室から得られる硫酸を、多室型電解槽の陽イオン交換膜と槽壁とで形成される陽極室、もしくは陽イオン交換膜によって区画した2室型電解槽の陽極室において電解し、硫酸の濃縮とともに酸化性物質を生成することを特徴とする硫酸の回収方法。

IPC (3)：

C01B 17/90 ,  B01D 61/44 510 ,  C25B 1/22