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J-GLOBAL ID：200903093482170629
液晶表示装置用アレイ基板
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺澤 襄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993216046
Publication number (International publication number)：1995066423
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 絶縁性基板との密着性、耐薬品性に優れ、サイドエッチを生じない液晶表示装置用アレイ基板を提供する。【構成】 ガラス基板1に、モリブデンの第1層、銅の第2層、モリブデン・タンタルの第3層、および、モリブデンの第4層のゲート電極および配線2,3,16,17を積層形成する。硝酸と燐酸を含む混酸系のエッチング液を用い、同程度のエッチングレートで第1層、第2層および第3層のゲート電極および配線2,3,16を形成するため、同時にエッチングでき、サイドエッチングが生じない。フォトリソグラフィーのレジスト剥離の際も、モリブデン・タンタルにより、第2層のゲート電極および配線3が剥離液に腐食されない。ガラス基板1を高温処理しても、第1層のゲート電極および配線2は、ガラス基板1との密着性を保持できる。第4層のゲート電極および配線17で覆うため、低抵抗、耐薬品性に優れる。
Claim (excerpt)：
絶縁性基板上に形成されたゲート電極および配線と、このゲート電極上にゲート絶縁膜を介して形成された半導体膜と、この半導体膜に接して形成されたソース電極およびドレイン電極とを有する薄膜トランジスタを備えた液晶表示装置用アレイ基板において、前記ゲート電極および配線の少なくとも一部は、少なくとも硝酸および燐酸を含む混酸系のエッチング液を用いると銅と同程度のエッチングレートを有する高融点金属膜からなる第1層と、この第1層上に形成され銅膜からなる第2層と、この第2層上に形成され前記少なくとも硝酸および燐酸を含む混酸系のエッチング液で銅と同程度のエッチングレートを有する高融点金属膜からなる第3層と、この第3層上に形成され前記第1層ないし第3層を覆う耐薬品性に優れた高融点金属膜からなる第4層とを具備したことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。
IPC (3)：
H01L 29/786
, G02F 1/136 500
, H01L 29/40
