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J-GLOBAL ID：200903093511359060

溶解性試薬を使用して二次加工された微小多孔質材料

Inventor： リュン,ロジャー ,  ウー,ホゥイ・ジュン ,  シコニア,ジョン ,  ファン,ウェンヤ
Applicant, Patent owner： アライドシグナル インコーポレイテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000617459
Publication number (International publication number)：2002544331
Application date： May. 05, 2000
Publication date： Dec. 24, 2002
Summary：

【要約】微小多孔質低誘電率材料を第一試薬と第二試薬から製造する。試薬は、混合して試薬混合物とし、高分子構造が混合試薬から形成される。ナノサイズの孔は、熱分解や蒸発以外の方法により、少なくとも一部の第二試薬を高分子構造から除去することによって形成される。

Claim (excerpt)：

以下の工程、すなわち:第一試薬と第二試薬を供給する工程;前記第一試薬と第二試薬を混合して試薬混合物を形成する工程;前記試薬混合物から高分子構造を形成する工程;および熱分解以外、および蒸発以外の方法によって前記高分子構造から少なくとも一部の第二試薬を除去する工程であって、前記第二試薬はフラーレンを含まない工程を含む低誘電性微小多孔質材料を製造する方法。

IPC (4)：

C08J 9/26 CEZ ,  H01L 21/312 ,  C08L 71:08 ,  C08L 79:08

FI (5)：

C08J 9/26 CEZ ,  H01L 21/312 A ,  H01L 21/312 B ,  C08L 71:08 ,  C08L 79:08 Z

F-Term (26)：

4F074AA32 ,  4F074AA35 ,  4F074AA74 ,  4F074AA76 ,  4F074AA90 ,  4F074AC11 ,  4F074AC32 ,  4F074AD01 ,  4F074AD02 ,  4F074AD07 ,  4F074AD11 ,  4F074AE01 ,  4F074AE06 ,  4F074CB03 ,  4F074CB13 ,  4F074CB17 ,  4F074CB22 ,  4F074CB28 ,  4F074DA24 ,  4F074DA47 ,  4F074DA59 ,  5F058AC02 ,  5F058AD02 ,  5F058AG01 ,  5F058AG03 ,  5F058AG04