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J-GLOBAL ID：200903093522964690

微小探針の作製方法、及び微小探針

Inventor： 川崎 岳彦 ,  八木 隆行 ,  島田 康弘
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999127412
Publication number (International publication number)：2000321291
Application date： May. 07, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】試料形状に限定されずに高い分解能で観察することが可能な、単一の先鋭化された頂点を持つ、走査型プローブ顕微鏡やその原理を応用した極微細加工や高密度記録に用いられる微小探針の作製方法、及び微小探針を提供すること。【解決手段】微小探針の作製方法であって、基板上に凹部を有するメッキ構造体を形成し、該メッキ構造体の凹部を金型として該金型上に探針材料を形成し、該探針材料を該金型から剥離し、または別の基板へ接合転写して微小探針を形成する微小探針の作製方法、およびこの方法により頂点を共有する凹面により囲まれた外形を有する微小探針を提供する。

Claim (excerpt)：

微小探針の作製方法であって、基板上に凹部を有するメッキ構造体を形成し、該メッキ構造体の凹部を金型として該金型上に探針材料を形成し、該探針材料を該金型から剥離し、または別の基板へ接合転写して微小探針を形成することを特徴とする微小探針の作製方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00

FI (5)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/00

F-Term (10)：

2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD26 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ00 ,  2F069LL03 ,  2H052AA07 ,  2H052AF10