Pat
J-GLOBAL ID：200903093539141027
プラズマイオン源質量分析装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993226098
Publication number (International publication number)：1995078590
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】 帯電を引き起こして分析を不安定にする膜の付着しないイオンレンズを供給する。【構成】 イオンレンズが、イオンのビームを90度偏向させる90度偏向器を持ち、偏向器のサンプリングインターフェースの対向側を開口した。また90度偏向器とマスフィルターの間に少なくとも1対以上で構成された補正電極を設置した。【効果】 試料中の微量不純物を効率良く検出するばかりでなく、いつまでも安定して測定できるようにする。
Claim (excerpt)：
試料中の微量不純物の同定・定量をする目的として、前記試料をプラズマ中でイオン化するプラズマイオン源と、生成したイオンを真空容器内に導くサンプリングインターフェースと、前記真空容器内に設置されたイオンレンズおよびマスフィルターおよび検出器を有するプラズマイオン源質量分析装置において、前記サンプリングインターフェースの軸と前記マスフィルターの軸を90度の角度をもって配置し、前記イオンレンズが前記サンプリングインターフェースを通過した前記イオンのビームを90度偏向させる90度偏向器を持ち、前記90度偏向器が前記サンプリングインターフェースの対向側を開口にしたことを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。
IPC (3)：
H01J 49/06
, G01N 27/62
, H01J 49/10
