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J-GLOBAL ID：200903093548851509
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土井 育郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992187398
Publication number (International publication number)：1994005204
Application date： Jun. 23, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】 耐熱性に優れるとともに出ガスがなく、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満足のいくプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルターを形成する。【構成】 カラーフィルターを形成すべきガラス等の基板1上に感光性樹脂組成物2を塗布して乾燥させる塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクMを介しての露光によりパターニング部分2aを形成する露光工程と、非パターン形成部分2bを現像によって除去する現像工程と、耐熱性のある着色剤を分散もしくは溶解させた着色剤組成物をパターニング部分2aに含浸させる含浸工程と、焼成により有機分を焼失して基板上にフィルター部分を形成する焼成工程とによりカラーフィルターを形成する。着色剤としては、耐熱性顔料、色ガラス、基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオンと交換するような材料が使用できる。
Claim (excerpt)：
カラーフィルターを形成すべきガラス基板上に感光性樹脂組成物を塗布して乾燥させる塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを介しての露光によりパターニング部分を形成する露光工程と、非パターン形成部分を現像によって除去する現像工程と、耐熱性のある着色剤を分散もしくは溶解した着色剤組成物を前記パターニング部分に含浸させる含浸工程と、焼成により有機分を焼失して基板上にフィルター部分を形成する焼成工程とからなることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
IPC (2)：
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