Pat
J-GLOBAL ID：200903093552968410
ポリッシング装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992250770
Publication number (International publication number)：1994071558
Application date： Aug. 26, 1992
Publication date： Mar. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 トップリングでポリッシング対象物を吸着する時、該ポリッシング対象物に損傷等のダメージを与えることのないポリッシング装置を提供する。【構成】 各々独立した回転数で回転するターンテーブルとトップリング20と該トップリング20を押圧するシリンダ1を具備する加圧手段を有し、該加圧手段でトリップリング20の吸着面をポリッシング対象物10上面に所定の押圧力で当接させて該ポリッシング対象物10を吸着し、該吸着したポリッシング対象物10を加圧手段でターンテーブル上面に所定の押圧力で当接させて該ポリッシング対象物を平坦且つ鏡面に研磨するポリッシング装置において、加圧手段はポリッシング対象物10をトップリング20の吸着面に吸着させる時の押圧力とターンテーブルに押圧して研磨する時の押圧力を変えることができるレギュレータ4,5を具備する圧力可変機能を有している。
Claim (excerpt)：
各々独立した回転数で回転するターンテーブルとトップリングと該トップリングを下方に押圧する加圧手段を有し、該加圧手段でトップリングの吸着面をポリッシング対象物上面に所定の押圧力で当接させて該ポリッシング対象物を吸着し、該吸着したポリッシング対象物を前記加圧手段で前記ターンテーブル上面に所定の押圧力で当接させて該ポリッシング対象物を平坦且つ鏡面に研磨するポリッシング装置において、前記加圧手段はポリッシング対象物をトップリングの吸着面に吸着させる時の押圧力とターンテーブルに押圧して研磨する時の押圧力を変えることができる圧力可変機能を有していることを特徴とするポリッシング装置。
IPC (3)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
