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J-GLOBAL ID：200903093584483729

撮像手段による実空間長測定方法及び光学系の校正方法、並びに光学系の校正に用いる基準ゲージ

Inventor： 林 謙一 ,  曽我部 靖 ,  松浦 賢司 ,  村田 茂樹
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 東島 隆治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996061847
Publication number (International publication number)：1997229635
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 1画素あたりの実空間長を精密に測定する方法を提供し、撮像範囲の測定あるいは調整や、画像の歪曲の測定およびその結果のフィードバックによって画像の歪曲の補正を行う光学系の校正方法を提供する。【解決手段】 格子画像の検査領域内の任意領域において、撮像手段の各画素列についての平均格子本数を算出し、格子ピッチを乗算することにより所定方向における前記任意領域の実空間長を算出し、これをその方向の画素数で除算することにより、格子画像の1画素あたりの実空間長を得る。これにより、撮像範囲の算出、撮像範囲の調整、得られる像の歪曲分布の算出及びそれを用いた像の補正等が可能となるので、光学系の校正を行って対象物を精密に測定することができるようになる。

Claim (excerpt)：

既知の値を格子ピッチとして等間隔に配置された格子線を含む格子パターンを光学系により結像した像を、前記格子線に平行な方向及び/又は直交する方向を水平走査方向として撮像手段を用いて撮像することにより格子画像を得る第1のステップと、前記格子画像の検査領域内の任意領域において、前記格子線に直交する方向の前記撮像手段の一画素列に対応する格子本数を、各画素列ごとに算出する第2のステップと、前記第2のステップで求めた各画素列についての格子本数を平均して平均格子本数を算出する第3のステップと、前記平均格子本数に前記格子ピッチを乗算することにより、前記格子線に直交する方向における前記任意領域の実空間長を算出する第4のステップと、前記実空間長を、前記任意領域の前記格子線に直交する方向の画素数で除算することにより、前記格子画像の、前記格子線に直交する方向の1画素あたりの実空間長を算出する第5のステップと、を有する、撮像手段による実空間長測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/02 ,  G01M 11/00 ,  G02B 27/62

FI (3)：

G01B 11/02 H ,  G01M 11/00 T ,  G02B 27/62