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J-GLOBAL ID：200903093602695038

アクティブマトリクス液晶表示装置

Inventor： 高畠 勝 ,  河内 玄士郎 ,  小野 記久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193722
Publication number (International publication number)：1994035003
Application date： Jul. 21, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【構成】アクティブマトリクス液晶表示装置において、薄膜トランジスタのデバイス構造は正スタガーであり、半導体膜/ゲート絶縁膜堆積前にはAlを用いず、少なくともゲート材料にはAlを用い、薄膜トランジスタの保護膜には有機膜を用いる。【効果】上記した構造だとゲート絶縁膜/半導体膜堆積後にAlが堆積,加工され、その後、薄膜トランジスタの保護膜には有機膜が堆積される(塗布温度,ベーク温度は200°C以下)ので、Alからヒロックが生じることはない。また、アルミナ膜を使用することはないので工程数は短縮される。したがって、本発明により高信頼性で工程数短縮されたアクティブマトリクス液晶表示装置が提供できる。

Claim (excerpt)：

薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス液晶表示装置において、薄膜トランジスタのデバイス構造は正スタガーであり、半導体膜/ゲート絶縁膜堆積前にはAlを用いず、少なくともゲート材料にはAlを用い、薄膜トランジスタの保護膜には有機膜を用いることを特徴とするアクティブマトリクス液晶表示装置。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/784

FI (2)：

H01L 29/78 311 G ,  H01L 29/78 311 N