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J-GLOBAL ID：200903093641596284
センサー機構およびそれを用いた搬送ロボット
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998043005
Publication number (International publication number)：1999226883
Application date： Feb. 10, 1998
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：
【要約】【課題】 真空雰囲気内の使用に適した小型で安価な搬送ロボットを提供すること。【解決手段】 搬送ロボット10は、ウエハを搬送する搬送部34,40a,40bと、搬送部34,40a,40bを駆動するためのシャフト32,52a,52bと、シャフト32,52a,52bに接続され、搬送部34,40a,40bを駆動するためのモータ86,96a,96bと、モータ86,96a,96bによるシャフト32,52a,52bの回転に対応して所定の範囲を往復動するレバー103,104,105と、搬送部34,40a,40bの回転移動の範囲を規定するために、レバー103,104,105の移動範囲を規定するセンサー部106a,106b,107a,107b,108a,108bとを具備する。
Claim (excerpt)：
駆動源による回転駆動力を、シャフトを介して伝達して部材を駆動する機構を有する装置に用いられるセンサー機構であって、前記駆動源による前記シャフトの回転に対応して所定の範囲を往復動する移動部材と、前記部材の回転移動の範囲を規定するために、前記移動部材の移動範囲を規定するセンサー部とを具備することを特徴とするセンサー機構。
IPC (4)：
B25J 9/06
, B25J 18/02
, B25J 19/00
, B25J 19/02
B25J 9/06 A
, B25J 18/02
, B25J 19/00 C
, B25J 19/02
