Pat
J-GLOBAL ID：200903093678648632
厚膜アクチュエータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柏木 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992267344
Publication number (International publication number)：1994120578
Application date： Oct. 06, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 短小軽薄化で信頼性の高い厚膜アクチュエータを提供する。【構成】 支持体1と厚膜圧電材料6とを用いてダイヤフラム構造に形成した。
Claim (excerpt)：
支持体と厚膜圧電材料とからなり、ダイヤフラム形状に形成されたことを特徴とする厚膜アクチュエータ。
IPC (2)：
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