Pat
J-GLOBAL ID：200903093680654518
ICチップの除去エリアの消去方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991228836
Publication number (International publication number)：1994021179
Application date： Aug. 14, 1991
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 隣接チップの比較方法による異物検査において、ICチップに存在する反射率が異常に大きい部分を除去エリアとし、その位置を特定し、その画素信号を除去する除去閾値を求めて各チップを検査し、除去エリアのマップ表示を消去する方法を提供する。【構成】 ウエハの任意のチップ列をテストチップ列とし、これに対してレーザビームLX を走査して各隣接チップ(A,B),(B,C)......に対する各差分データQを逐次に求める。各チップの同一位置に対する各差分データの画素信号の絶対値を、加算回路5a により逐次に加算してマップメモリ5b の各画素メモリにそれぞれ記憶する。記憶された中の一定値より大きい加算データΣ|Q|を除去エリアに対する除去閾値VD とし、これとそのマップメモリのアドレス(i,j)をRAM5c に記憶する。
Claim (excerpt)：
ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハに対してレーザビームを走査し、互いに隣接した2個の前記ICチップの反射光を光センサにより受光し、該光センサの出力した該隣接チップの対応する画素信号の差分データを、検出閾値に比較して異物を検出してマップ表示するウエハ異物検査装置において、前記ウエハの任意のチップ列をテストチップ列とし、該テストチップ列に対して前記レーザビームを走査して各隣接チップに対する各差分データを逐次に求め、前記ICチップの同一位置に対する該各差分データの画素信号の絶対値を、逐次に加算してマップメモリの各画素メモリにそれぞれ記憶し、該記憶された中の一定値より大きい加算データを、反射率が異常に大きい除去エリアに対する除去閾値とし、該除去閾値とそのマップメモリのアドレスをRAMに記憶し、前記各ICチップの検査において、該記憶されたアドレスに対応する画素信号に対して該除去閾値を設定して除去し、前記除去エリアのマップ表示を消去することを特徴とする、ICチップの除去エリアの消去方法。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, H01S 3/00
