Pat
J-GLOBAL ID:200903093749413542
電界効果型トランジスタ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998017090
Publication number (International publication number):1999214408
Application date: Jan. 29, 1998
Publication date: Aug. 06, 1999
Summary:
【要約】【課題】 大電流化に対応した電界効果型トランジスタを得ようとすると、高周波特性が劣化したり、素子が大型化するという問題があった。【解決手段】 ゲート電極配線を格子状に形成し、このゲート電極配線の格子の中にソース・ドレイン電極を島状に分離して形成し、この島状のソース・ドレイン電極のそれぞれを前記ゲート電極配線を越えて相互に接続した。
Claim (excerpt):
ゲート電極配線を格子状に形成し、このゲート電極の配線格子の中にソース・ドレイン電極を島状に分離して形成し、この島状のソース・ドレイン電極のそれぞれを前記ゲート電極配線を越えて相互に接続した電界効果型トランジスタ。
IPC (3):
H01L 21/338
, H01L 29/812
, H01L 21/203
FI (2):
H01L 29/80 L
, H01L 21/203
Patent cited by the Patent: