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J-GLOBAL ID：200903093749455458

湾曲全反射ミラー装置

Inventor： 志村 幸宏 ,  片山 忠二
Applicant, Patent owner： 株式会社マック・サイエンス
Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995015968
Publication number (International publication number)：1996211197
Application date： Feb. 02, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 X線の焦点及び方向の調整を短時間で容易に行なう。【構成】 X線源から出射されたX線を2枚の湾曲全反射ミラーによってX線検出手段上の焦点に集束させる湾曲全反射ミラー装置11である。第1湾曲全反射ミラー12を含む第1ミラー装置16と、第2湾曲全反射ミラー13を含む第2ミラー装置17とを、各湾曲全反射ミラー12,13の光軸の位置関係を調整した状態で単一の基板14上に保持した。さらに、基板14は基板調整機構41に取り付けられ、この基板調整機構41によって基板14の方向を変えてX線の照射方向を調整し得るようにした。

Claim (excerpt)：

X線源から出射されたX線を2枚の湾曲全反射ミラーによってX線検出手段上の焦点に集束させる湾曲全反射ミラー装置であって、前記2枚の湾曲全反射ミラーをそれらの光軸の位置関係を調整した状態で単一の基板上に保持し、当該基板の方向を変えてX線の照射方向を調整し得る基板調整機構を備えたことを特徴とする湾曲全反射ミラー装置。