ポジ型感光性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995092611
Publication number (International publication number)：1996286367
Application date： Apr. 18, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、遠紫外領域で用いられるポジ型感光性組成物であって、露光部と未露光部の現像液に対する溶解速度の比が大であるものを提供することである。【構成】光酸発生剤、不溶化したアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性樹脂及び溶解抑制剤ならびに有機溶剤を含有するポジ型感光性組成物において、光酸発生剤が下記一般式(1)で表される化合物であること特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】 Ar1 -SO2 -NH-NH-SO2 -Ar2 (1)(式中、Ar1 及びAr2 は、同一であっても異なっていてもよい芳香族基である。)

Claim (excerpt)：

光酸発生剤、不溶化したアルカリ可溶性樹脂またはアルカリ可溶性樹脂及び溶解抑制剤ならびに有機溶剤を含有するポジ型感光性組成物において、光酸発生剤が下記一般式(1)で表される化合物であることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】 Ar1 -SO2 -NH-NH-SO2 -Ar2 (1)(式中、Ar1 及びAr2 は、同一であっても異なっていてもよい芳香族基である。)

IPC (4)：

G03F 7/004 503 , C08L101/12 LTB , G03F 7/039 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 503 , C08L101/12 LTB , G03F 7/039 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

微細パターン形成材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-246324 Applicant：和光純薬工業株式会社, 松下電器産業株式会社
特開平1-284554

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