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J-GLOBAL ID：200903093779789148

赤外線センサ素子

Inventor： 中木 義幸 ,  秦 久敏 ,  曽根 孝典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999132559
Publication number (International publication number)：2000321125
Application date： May. 13, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 赤外線検出感度に優れた赤外線センサ素子を提供することを目的とする。【解決手段】 赤外線吸収層2と反射層10との間に共振空間13が形成されるように、少なくとも1つの熱伝達柱4を用いて反射層10に赤外線吸収層2を支持し反射層10と感温層7とを絶縁体膜14を介して接合し、赤外線吸収層2で発生した熱を熱伝達柱4、反射層10及び絶縁膜14を介して感温層7に伝達させた。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に、支持脚を用いて該半導体基板から離れて設けられた感温層と、該感温層の上に互いに所定の間隔を隔てて対向して設けられた反射層と赤外線吸収層とを備え、赤外線を該赤外線吸収層と該反射層との間で光学的に共振させて、上記赤外線を熱として上記感温層で検出する赤外線センサ素子であって、上記赤外線吸収層と上記反射層との間に共振空間が形成されるように、少なくとも1つの熱伝達柱を用いて上記反射層上に上記赤外線吸収層を支持しかつ、上記反射層と上記感温層とを絶縁体膜を介して接合したことを特徴とする赤外線センサ素子。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  H01L 37/00

FI (2)：

G01J 1/02 C ,  H01L 37/00

F-Term (6)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB03 ,  2G065BA12 ,  2G065BA32 ,  2G065CA13