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J-GLOBAL ID：200903093803280170
球面収差補正静電型レンズ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994246208
Publication number (International publication number)：1996111199
Application date： Oct. 12, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 球面メッシュあるいはフォイルを用いて±数10°の角度まで球面収差を補正した静電型レンズ。【構成】 4段以上の同軸多段電極EL1〜ELnから構成し、第一段電極に球面メッシュMを設けて負の球面収差を発生させ、第二段目以降の電極EL2〜ELnの電圧を所定の値に設定できるコントローラCを設けることにより、第二段目以降の電極電圧についての自由度を用いて、メッシュMの形状及び電極EL1〜ELnの形状に対応して決まる最適ポテンシャル分布が得られ、球面収差をほとんどなくして高い集束性を実現することができる。
Claim (excerpt)：
物面側に凹面形状の光軸を中心軸とする回転体面からなるメッシュ又はフォイルであって、所定物面位置上の物体の負の球面収差を有する拡大虚像を形成するように配置されたメッシュ又はフォイルと、その像面側に光軸に同軸に配置され、前記拡大虚像の実像を形成し正の球面収差を生じる収束電場を形成する同心面からなる複数の電極とを備えていることを特徴とする球面収差補正静電型レンズ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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