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J-GLOBAL ID：200903093809163710

波面測定方法及び波面測定装置

Inventor： 此内 修
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998057561
Publication number (International publication number)：1999237311
Application date： Feb. 23, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：

【要約】【課題】 被検群レンズまたは被検単レンズの波面収差の回転非対称成分を簡単な装置で、NULL光学系の制約などなしに高精度に絶対値測定すること。【解決手段】被検群レンズまたは被検単レンズの波面収差を光軸に対し少なくとも2つの回転した状態で測定し、該測定した波面収差の回転追従成分と回転非追従成分とをzernike 関数で展開して演算処理することにより、該波面収差の回転非対称成分を測定することをことを特徴とする波面収差測定方法及び波面収差測定装置。

Claim (excerpt)：

被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、該装置は光源と参照面を持つTSレンズあるいは、参照面と集光レンズと前記被検光学系を搭載するステージと反射ミラーにより構成されるとともに、前記被検光学系を光軸回りに回転させる回転手段を持っていることを特徴とする波面収差測定装置。

IPC (3)：

G01M 11/02 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (3)：

G01M 11/02 B ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D