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J-GLOBAL ID：200903093847362417

レーヤードアルミニウム微粒子の生成法及びその応用

Inventor： 村上 純一 ,  多井 豊 ,  吉村 和記 ,  五十嵐 一男 ,  種村 栄 ,  後藤 真宏
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院名古屋工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074604
Publication number (International publication number)：1998256528
Application date： Mar. 10, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 レーヤードアルミニウム微粒子の生成法及び単一電子トンネリング量子デバイスへの応用を提供する。【解決手段】 金属アルミニウムをアルゴン気体の放電によるスパッタでヘリウムと1×10-7-3×10-7Torrの水蒸気の混合気体中に供給し、凝集を起こさせた後、これを真空中に放出し、表層部がアルミナで覆われた単結晶を生成させることを特徴とする球状金属アルミニウム微粒子(レーヤードアルミニウム微粒子)の生成方法。また、上記微粒子をヘリウムガスの流れにのせてアパチャーを介してこれを真空中に放出し、直接基板上に体積させることを特徴とする粒子直径5-500nmの大きさのレーヤードアルミニウム粒子の生成方法。粒子生成源の出口付近を液体窒素で冷却するか、またはアルミニウムターゲットとアパチャーの距離を30mm-50mmとする上記のレーヤードアルミニウム微粒子の生成方法。また、前記の方法で得られたレーヤードアルミニウム微粒子。さらに、前記の方法で得られたレーヤードアルミニウム微粒子を用いた単一電子トンネリング量子デバイス素子。

Claim (excerpt)：

金属アルミニウムをアルゴン気体の放電によるスパッタでヘリウムと1×10-7-3×10-7Torrの水蒸気の混合気体中に供給し、凝集を起こさせた後、これを真空中に放出し、表層部がアルミナで覆われた単結晶を生成させることを特徴とする球状金属アルミニウム微粒子(レーヤードアルミニウム微粒子)の生成方法。

IPC (5)：

H01L 29/66 ,  B22F 9/02 ,  B22F 9/14 ,  C23C 14/00 ,  H01L 29/06

FI (5)：

H01L 29/66 ,  B22F 9/02 Z ,  B22F 9/14 Z ,  C23C 14/00 A ,  H01L 29/06