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J-GLOBAL ID：200903093849902320

基板処理装置

Inventor： 林 昭成
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999017267
Publication number (International publication number)：2000216212
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】回転収納棚に必要数の収納容器を効率よく収納させ、装置全体の大型化を伴うことなく収納容器の各種搬送方式に対応可能とする。【解決手段】被処理基板が装填される収納容器13と、該収納容器を複数収納し回転可能な回転収納棚36と、該回転収納棚に前記収納容器を搬送する搬送機22とを具備した基板処理装置に於いて、前記複数の収納容器が前記回転収納棚の回転中心を通る放射中心線上に配置され、前記回転収納棚に配置された収納容器の向きが、前記放射中心線に対して所要角度オフセットし、回転収納棚に空きスペースが出来るだけ生じない様に前記収納容器を前記回転収納棚に効率良く収納する。

Claim (excerpt)：

被処理基板が装填される収納容器と、該収納容器を複数収納し回転可能な回転収納棚と、該回転収納棚に前記収納容器を搬送する搬送機とを具備した基板処理装置に於いて、前記複数の収納容器が前記回転収納棚の回転中心を通る放射中心線上に配置され、前記回転収納棚に配置された収納容器の向きが、前記放射中心線に対して所要角度オフセットされていることを特徴とする基板処理装置。

F-Term (15)：

5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031GA54 ,  5F031PA26