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J-GLOBAL ID：200903093859385048

クリーンルーム用磁気シールドルーム及び磁気シールドパネル

Inventor： 石川 敏行 ,  石川 登
Applicant, Patent owner： 清水建設株式会社
Agent (1)： 柳田 良徳 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996090863
Publication number (International publication number)：1997283967
Application date： Apr. 12, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構成で通気性と所望のシールド性能を確保し、コストの低減を図る。【解決手段】 通気孔を有する多孔性の一方の壁面2、4から室内に清浄な空気を送り込み、他方の壁面3、5から空気を室外に送り出し室内空気を清浄にすると共に、外部磁界の影響を排除するクリーンルーム用磁気シールドルーム1で、多数の小さい通気孔を有する多孔性の壁面に強磁性材料を用いたパネルと導電性材料を用いたパネルからなる多層構造の多孔性磁気シールドパネル4、5を配置する。

Claim (excerpt)：

通気孔を有する多孔性の一方の壁面から室内に清浄な空気を送り込み、他方の壁面から空気を室外に送り出し室内空気を清浄にすると共に、外部磁界の影響を排除するクリーンルーム用磁気シールドルームであって、多数の小さい通気孔を有する多孔性の壁面に強磁性材料を用いたパネルと導電性材料を用いたパネルからなる多層構造の多孔性磁気シールドパネルを配置したことを特徴とするクリーンルーム用磁気シールドルーム。

IPC (5)：

H05K 9/00 ,  E04B 1/92 ,  E04F 13/08 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (6)：

H05K 9/00 H ,  H05K 9/00 T ,  E04B 1/92 ,  E04F 13/08 A ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 電磁波シールド室
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-115655   Applicant：日立プラント建設株式会社