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J-GLOBAL ID：200903093863892884

プラズマリアクター

Inventor： 高島 重和 ,  坂本 憲郎
Applicant, Patent owner： ラムコ株式会社
Agent (1)： 岡田 數彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991322502
Publication number (International publication number)：1993136094
Application date： Nov. 11, 1991
Publication date： Jun. 01, 1993
Summary：

【要約】【目的】プラズマガスの利用効率と反応排ガスの除去効率とを高めたプラズマリアクターを提供する。【構成】ガス導入管(1)と真空系に連結されたガス排出管(2)とを備えた円筒状反応容器(3)、該反応容器の外周囲に密着配置された外部電極(4)及び前記反応容器の内部にこれと所定間隔を設けて同軸に配置され且つ側壁に多数の小孔を有する金属製円筒体(5)から主として構成される同軸給電方式のプラズマリアクター又はエッチトンネルを使用した対向電極型プラズマリアクターにおいて、前記のガス排出管(2)を金属製円筒体(5)の内側の位置に配置する。

Claim (excerpt)：

ガス導入管と真空系に連結されたガス排出管とを備えた円筒状反応容器、該反応容器の外周囲に密着配置された外部電極および前記反応容器の内部にこれと所定間隔を設けて同軸に配置され且つ側壁に多数の小孔を有する金属製円筒体から主として構成される同軸給電方式のプラズマリアクター又はエッチトンネルを使用した対向電極型プラズマリアクターにおいて、前記のガス排出管を金属製円筒体の内側の位置に配置したことを特徴とするプラズマリアクター。

IPC (4)：

H01L 21/302 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-058412
  
• 特開昭57-069744
  
• 特開昭60-200531