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J-GLOBAL ID：200903093873109436
砥粒の水性分散媒組成物及びその切削液を用いるインゴットの切断方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
赤野 牧子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996257716
Publication number (International publication number)：1998081872
Application date： Sep. 05, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 非水溶性切削油を用いた場合における引火の危険性や、被切削材洗浄工程に伴う有機溶剤による人体への影響、大気汚染問題を解決し、大口径のシリコン単結晶インゴット等の切断においてもスライス後の物品の反り量、厚さばらつき(TTV)を低減することのできる砥粒の水性分散媒組成物及びその切削液を用いるインゴットの切断方法の提供。【解決手段】 無機ベントナイト0.1〜5重量%と、マグネシウムシリケートまたは/及びマグネシウムアルミニウムシリケート0.1〜5重量%を含有する水溶液であることを特徴とする砥粒の水性分散媒組成物。更に、これにカルボン酸を添加してpH値を7.0〜8.5に調整する。また要すれば、更に保水剤、湿潤剤、防錆剤、非鉄金属防食剤、有機系分散剤、消泡剤などを添加することができる。この水性分散媒組成物に砥粒を均一に分散せしめて切削液とし、この切削液を使用したワイヤソーやバンドソーによってシリコン単結晶等のインゴットを切断することにより、反りやTTVの低減したスライス品を効率よく得ることができる。
Claim (excerpt)：
無機ベントナイト0.1〜5重量%と、マグネシウムシリケートまたは/及びマグネシウムアルミニウムシリケート0.1〜5重量%を含有する水溶液であることを特徴とする砥粒の水性分散媒組成物。
IPC (2)：
C09K 3/14 550
, B28D 5/04
C09K 3/14 550 C
, B28D 5/04 B
