共焦点光学装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994231549
Publication number (International publication number)：1995181023
Application date： Sep. 27, 1994
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】装置の小型軽量化を図ると共に、3次元形状計測を高速に精度よくなし得、更に各部の位置合わせを容易にできる共焦点光学装置を提供することを目的とする。【構成】光源と、この光源から発した光を通過させて点光源光にする第1の開口部と、この第1の開口部を通過した光を被計測物体上に集光する対物レンズと、この被計測物体上の集光面に共役な面に位置する第2の開口部と、該第2の開口部を通過した光を検出する光検出器とを有する共焦点光学装置において、前記第1及び第2の開口部を同一位置に配して同一開口部で共用すると共に、前記光検出器の検出面を前記共用される同一の開口部とほぼ同一の面上に配設することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

光源と、この光源から発した光を通過させて点光源光にする第1の開口部と、この第1の開口部を通過した光を被計測物体上に集光する対物レンズと、この被計測物体上の集光面に共役な面に位置する第2の開口部と、該第2の開口部を通過した光を検出する光検出器とを有する共焦点光学装置において、前記第1及び第2の開口部を同一位置に配して同一の開口部をもって共用すると共に、前記光検出器の検出面を前記共用される同一の開口部とほぼ同一の面上に配設するようにしたことを特徴とする共焦点光学装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 , G02B 7/28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平4-265918
特開平2-002650
特開昭61-017103

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