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J-GLOBAL ID：200903093884860672
電気泳動研磨用研磨剤および電気泳動研磨方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997004819
Publication number (International publication number)：1998202510
Application date： Jan. 14, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、電気泳動現象を用いた電気泳動研磨に使用される電気泳動研磨用研磨剤および電気泳動研磨方法に関し、電気泳動で陰極に付着するダイヤモンド砥粒の粒径を従来より大幅に大きくすること、陰極に付着するダイヤモンド砥粒の厚みを従来より大幅に増大すること、および、導電性材料からなり陰極とされる被加工物を確実に研磨することを目的とする。【解決手段】 本発明の電気泳動研磨用研磨剤は、水にダイヤモンド砥粒および酸化アルミニウム微粒を混合してなることを特徴とする。また。本発明の電気泳動研磨方法は、上記電気泳動研磨用研磨剤中に、陰電極となる研磨工具および陽電極を浸漬するとともに、研磨工具および陽電極に電圧を印加し、研磨工具に酸化アルミニウム微粒とともにダイヤモンド砥粒を付着させ、このダイヤモンド砥粒の付着した研磨工具により被加工物の研磨を行うことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
水にダイヤモンド砥粒および酸化アルミニウム微粒を混合してなることを特徴とする電気泳動研磨用研磨剤。
IPC (2)：
FI (2)：
B24B 37/00 Z
, C25F 3/16 D
