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J-GLOBAL ID：200903093895160265

熱形赤外線センサ

Inventor： 滝浪 雅夫 ,  小松 清 ,  木村 光照
Applicant, Patent owner： テルモ株式会社 ,  木村 光照
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996074758
Publication number (International publication number)：1997264784
Application date： Mar. 28, 1996
Publication date： Oct. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高い感度と精度を確保し、S/N比が改善され、かつ生産性に優れた小型化された熱形赤外線センサを提供する。【解決手段】 センサ基板と薄膜の赤外線受光部と該赤外線受光部と同一素材、形状の補償素子を有し、前記赤外線受光部および前記補償素子は前記センサ基板上に該センサ基板から熱分離されるように形成され、かつ1つ又は複数の蓋体により気密封止された熱形赤外線センサにおいて、前記蓋体の一部に赤外線の信号処理回路を有することを特徴とする熱形赤外線センサである。

Claim (excerpt)：

センサ基板と薄膜の赤外線受光部と該赤外線受光部と同一素材、形状の補償素子とを有し、前記赤外線受光部および前記補償素子は前記センサ基板上に該センサ基板から熱分離されるように形成され、かつ1つ又は複数の蓋体により気密封止された熱形赤外線センサにおいて、前記蓋体の一部に赤外線の信号処理回路を有することを特徴とする熱形赤外線センサ。

IPC (3)：

G01J 1/42 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/44

FI (3)：

G01J 1/42 B ,  G01J 1/02 B ,  G01J 1/44 D