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J-GLOBAL ID：200903093932310531

図形データ処理方法

Inventor： 永田 武雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992230665
Publication number (International publication number)：1994084767
Application date： Aug. 31, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 図形データ処理方法に関し,元のパターンを回転した任意角図形においても,パターン幅による露光量補正が適正に行われるようにして元のパターンと露光量の差異をなくすることを目的とする。【構成】 荷電ビーム露光において,元の図形を任意の角度回転させた任意角図形を含む被露光図形のパターン幅による露光量補正を行う際に,該任意角図形を線分化するときに予め該任意角図形の形状を線分データに記憶させるか,あるいは該任意角図形を元の図形とは別の線分データとして取り込んで元の図形形状を維持し,次いで該被露光図形を露光可能な基本図形に分割し,該任意角図形の図形形状が維持された露光量補正を行うように構成する。

Claim (excerpt)：

荷電ビーム露光において,元の図形を任意の角度回転させた任意角図形を含む被露光図形のパターン幅による露光量補正を行う際に,該任意角図形を線分化するときに予め該任意角図形の形状を線分データに記憶させるか,あるいは該任意角図形を該元の図形とは別の線分データとして取り込んで元の図形形状を維持し,次いで該被露光図形を露光可能な基本図形に分割し,該任意角図形の図形形状が維持された露光量補正を行うことを特徴とする図形データ処理方法。